CINDBEST CT-6 | 6"~12" 高低温探针台测试系统
特点/应用
◆ 最大可用于12英寸以内样品测试
◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜
◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量
◆ 可升降调节适合加装探针卡
◆ 可搭配多种类型显微镜
◆ 结构模块化设计，可无缝升级
◆ 探针台可根据客户要求定制。
◆ 台体规格：
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型号 |
CT-6/CT-8/CT-12 |
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样品台尺寸 |
6英寸/8英寸/12英寸 |
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水平旋转 |
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
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X-Y移动行程 |
6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
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X-Y移动精度 |
10微米/1微米 |
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样品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
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针座平台 |
U型针座平台，最多可放置6~12个探针座 |
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平台升降 |
可快速升降10mm/可微调升降10mm |
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背电极测试 |
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
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温度范围 |
负80°到正400° |
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温控精度 |
0.01°/0.1°/1° |
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重量 |
约120千克/150千克 |
◆ 光学系统：
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显微镜类型 |
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移动行程 |
水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm |
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光源 |
外置LED环形光源/同轴光源 |
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CCD |
200万像素/500万像素/1200万像素 |
◆ 定位器：
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X-Y-Z移动行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移动精度 |
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
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吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
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线缆 |
同轴线/三轴线 |
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漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探针 |
弹簧固定/管状固定 |
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接头类型 |
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
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针尖直径 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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针尖材质 |
钨钢/铍铜 |
◆ 可选附件
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加热台 |
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显示器 |
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转接头 |
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射频测试配件 |
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屏蔽箱 |
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光学平台 |
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镀金卡盘 |
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光电测试配件 |
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高压测试配件 |
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显微镜快速倾仰装置 |
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激光系统 |
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探针卡夹具 |
规格及设计如有更改，恕不另行通知。
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