CS-4 | 4" 精密I-V测试测量探针台系统
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特点/应用
◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等
◆ 最大可用于6英寸以内样品测试
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动
◆ 可放置于手套箱内使用
◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠 |
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台体规格
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尺寸 |
4英寸/6英寸 |
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水平旋转 |
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
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X-Y移动行程 |
4英寸*4英寸 |
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X-Y移动精度 |
10微米 |
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样品台Z轴调节 |
可升降10mm |
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样品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
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针座平台 |
U型针座平台，最多可放置6个探针座 |
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背电极测试 |
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
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外形尺寸 |
400mm长*400mm宽*500mm高 |
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重量 |
约25千克 |
光学系统
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显微镜类型 |
单筒显微镜/体式显微镜 |
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放大倍率 |
16X-200X |
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移动行程 |
水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm |
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光源 |
外置LED无极调节亮度环形光源 |
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CCD |
200万像素/500万像素/1200万像素 |
探针座
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X-Y-Z移动行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移动精度 |
10um/2um/0.7um/0.5um |
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吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
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线缆 |
同轴线/三轴线 |
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漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探针 |
弹簧固定/管状固定 |
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接头类型 |
BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
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针尖直径 |
0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
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针尖材质 |
钨钢/铍铜 |
可选附件
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加热台 |
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显示器 |
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转接头 |
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射频测试配件 |
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屏蔽箱 |
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光学平台 |
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镀金卡盘 |
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光电测试配件
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PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改，恕不另行通知。
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