CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低温真空探针台测试系统
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特点/应用
◆ 2至6英寸样品台
◆ 高真空腔体
◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
◆ 77K-675K高低温环境
◆ 兼容IV/CV/RF测试
◆ 外置多探针臂，移动行程大
◆ 经济实用，可无缝升级 |
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极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
◆ 腔体规格：
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型号 |
CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
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样品台尺寸 |
2英寸/4英寸/6英寸 |
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样品固定 |
弹簧压片 |
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观察窗口 |
2英寸/4英寸/6英寸 |
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真空度 |
10-6torr |
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探针臂接口 |
4~6个探针臂接口 |
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其他接口 |
电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 |
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制冷方式 |
液氮/液氦/制冷机 |
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温度范围 |
77K到573K/4.5K到573K |
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温控精度 |
0.1K/0.01K/0.001K |
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稳定性 |
±1K/±0.1K/±0.01K |
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外形 |
880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高 |
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重量 |
约100千克/120千克 |
◆ 光学系统：
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显微镜类型 |
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移动行程 |
水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
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光源 |
外置LED环形光源/同轴光源 |
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CCD |
200万像素/500万像素/1200万像素 |
◆ 探针臂：
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X-Y-Z移动行程 |
50mm*50mm*50mm |
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结构 |
外置探针臂，真空波纹管结构 |
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移动精度 |
10微米/1微米 |
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线缆 |
同轴线/三轴线/射频线 |
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漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探针 |
弹簧固定/管状固定 |
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接头类型 |
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
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频率支持 |
DC-67GHZ |
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针尖直径 |
0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
◆ 其他组件：
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真空组件 |
分子泵组/机械泵/离子泵 |
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冷源组件 |
50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机 |
◆ 可选附件
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超高温配件 |
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显示器 |
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转接头 |
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射频测试配件 |
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屏蔽箱 |
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光学平台 |
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镀金卡盘 |
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光电测试配件 |
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高压测试配件 |
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分子泵组 |
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激光系统 |
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气敏测试配件 |
规格及设计如有更改，恕不另行通知。
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