10⁻⁴ Pa 是探针台常用的高真空等级（高真空区间：10⁻¹ ~ 10⁻⁵ Pa），主要用于半导体、MEMS、纳米材料、超导等领域的精密电学 / 光电测试。

一、真空度等级与含义
10⁻⁴ Pa ≈ 7.5×10⁻⁷ Torr，属于高真空（High Vacuum, HV）。
意味着腔体中气体分子极少，平均自由程很长，几乎无对流、无氧化、无水汽凝结。
二、10⁻⁴ Pa 探针台的典型应用
半导体 / 微电子：晶圆、芯片、功率器件的 IV/CV 测试、射频 / 微波测试、低漏电测试。
MEMS/NEMS：微机电器件在真空下的力学、电学、热学特性测试。
纳米 / 二维材料：石墨烯、黑磷、量子点等的输运、光电、霍尔效应测量。
超导 / 低温物理：超导转变、量子器件、极低温（液氦 / 液氮）下的电学测试。
光电 / 光电器件：LED、LD、PD、光伏、光电流、拉曼 / 荧光测试。
三、为什么需要 10⁻⁴ Pa 真空
防氧化：高温测试时隔绝氧气，避免样品 / 电极氧化、性能漂移。
防结露 / 结冰：低温测试时抽走水汽，防止样品表面结霜、漏电、接触不良。
低漏电 / 低噪声：减少气体分子电离与散射，实现 fA 级漏电流、nV 级噪声 测试。
绝热 / 控温：真空是优良绝热体，提升高低温控温效率与稳定性。
光学 / 成像：减少气体散射，适合显微观测、光谱、光耦合测试。
四、实现 10⁻⁴ Pa 的典型配置
泵组：机械泵（前级）+ 涡轮分子泵（主泵），常用 200–300 L/s 分子泵。
腔体：不锈钢真空腔体、双腔体 / 屏蔽腔、金属密封（CF/KF）、烘烤除气设计。
真空规：全量程规（皮拉尼 + 电离规），实时监测 10⁵ ~ 10⁻⁷ Pa。
保压：良好密封与除气，停机后真空可维持数小时至数天。