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深入了解中端探针台及其关键技术参数
2024-03-042030
深入了解中端探针台及其关键技术参数

中端探针台包括多种型号,其中比较典型的是CL-6系列中端探针台。CL-6系列中端探针台有4英寸、6英寸和8英寸三种规格,适用于不同尺寸的样品测试。

关于CL-6系列中端探针台的技术参数,主要包括以下几个方面:

台体规格:台体尺寸为4英寸、6英寸或8英寸,可根据需要选择适合的尺寸。

水平旋转:台体可360度旋转,微调范围为15度,精度为0.1度,并带有角度锁死装置,以确保测试的稳定性。

X-Y移动行程:X-Y轴移动行程为4英寸×4英寸或6英寸×6英寸,可根据需要选择适合的行程范围。

X-Y移动精度:X-Y轴移动精度为10微米或1微米,可根据需要选择适合的精度等级。

样品台Z轴调节:样品台可升降10mm,方便调节样品高度。

样品固定:样品台采用真空吸附、中心孔吸附或多圈吸附环等方式固定样品,确保样品在测试过程中的稳定性。

针座平台:U型针座平台可容纳最多6个探针座,方便进行多点测试。

背电极测试:样品台电学独立悬空,可通过4mm插孔接入背电极进行测试。

此外,CL-6系列中端探针台还具有多种光学系统配置可选,包括单筒显微镜、体式显微镜、金相显微镜等,放大倍率从16X到4000X不等,可根据需要选择适合的显微镜类型和放大倍率。同时,该探针台还配备了外置LED环形光源或同轴光源,以及200万像素、500万像素或1200万像素的CCD等图像处理设备,以提高测试的精度和效率。

需要注意的是,以上技术参数仅为CL-6系列中端探针台的典型配置,实际参数可能因具体型号和用户需求而有所不同。因此,在选择探针台时,建议根据具体的应用需求和测试要求来选择合适的型号和技术参数。