深入了解中端探针台及其关键技术参数

中端探针台包括多种型号，其中比较典型的是CL-6系列中端探针台。CL-6系列中端探针台有4英寸、6英寸和8英寸三种规格，适用于不同尺寸的样品测试。

关于CL-6系列中端探针台的技术参数，主要包括以下几个方面：

台体规格：台体尺寸为4英寸、6英寸或8英寸，可根据需要选择适合的尺寸。

水平旋转：台体可360度旋转，微调范围为15度，精度为0.1度，并带有角度锁死装置，以确保测试的稳定性。

X-Y移动行程：X-Y轴移动行程为4英寸×4英寸或6英寸×6英寸，可根据需要选择适合的行程范围。

X-Y移动精度：X-Y轴移动精度为10微米或1微米，可根据需要选择适合的精度等级。

样品台Z轴调节：样品台可升降10mm，方便调节样品高度。

样品固定：样品台采用真空吸附、中心孔吸附或多圈吸附环等方式固定样品，确保样品在测试过程中的稳定性。

针座平台：U型针座平台可容纳最多6个探针座，方便进行多点测试。

背电极测试：样品台电学独立悬空，可通过4mm插孔接入背电极进行测试。

此外，CL-6系列中端探针台还具有多种光学系统配置可选，包括单筒显微镜、体式显微镜、金相显微镜等，放大倍率从16X到4000X不等，可根据需要选择适合的显微镜类型和放大倍率。同时，该探针台还配备了外置LED环形光源或同轴光源，以及200万像素、500万像素或1200万像素的CCD等图像处理设备，以提高测试的精度和效率。

需要注意的是，以上技术参数仅为CL-6系列中端探针台的典型配置，实际参数可能因具体型号和用户需求而有所不同。因此，在选择探针台时，建议根据具体的应用需求和测试要求来选择合适的型号和技术参数。