探针台系统剖析 探针台系统分为手动探针台与自动探针台，以下我们主要分析手动探针台： 探针台用途： 手动探针台又称探针测试台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。 探针台系统组成： 探针台台体+显微镜+探针座+探针夹具+探针+测试源表（请注意无测试源表就构成不了系统，探针台只是提供一个测试平台，一切数据的测量都需要依靠测试源表来完成） 探针台测试环境： 可提供的测试环境有：常温、高温、高低温测试、真空高低温、高压、辐射以及磁场环境。

手动探针台的工作原理 手动探针台用途： 手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。 手动探针台的使用方式： 1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。 2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。 3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。 4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

光学平台，又称光学面包板、光学桌面、科学桌面、实验平台，供水平、稳定的台面，一般平台都需要进行隔振等措施，保证其不受外界因素干扰，使科学实验正常进行。目前来说，有主动与被动两大类。而被动又有橡胶与气浮两大类。 简介 光学平台追求水平，首先加工的时候整个台面是极平的。之后台面置放与四个联通的气囊上，以保证台面水平。台面上布满成正方形排列的工程螺纹孔，用这些孔和相应的螺丝可以固定光学元件。这样，当你完成光学设备的搭建，系统基本不会受外来扰动而产生变化。即使按动台面，它也会因为气囊而自动回复水平。 应用 光学平台广泛应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域，以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。 主

自动平衡型气浮防震桌的安装手册 1、常规配置 2、安装前请注意以下几点： （1）避免阳光直射和较大的温度变化 （2）只能使用压缩空气或者4Kgf/㎠以上压力的氮气 （3）避免意外撞击防震桌 3、安装和调整 请按照以下顺序安装 （1）移动和装载 a、移动蜂窝平台和框架至要求安装的地方 b、把蜂窝平台放在框架上（调整蜂窝到框架的中心位置） （2）调整框架的水平位置和装载设备 a、拧松校平脚上的锁紧螺母之后，用扳手（30mm）转动校平脚直到地面和轮脚之间的间距在5mm左右 b、通过旋转校平脚使框架达到水平 c、框架调整至水平之后，拧紧锁紧螺母

探针台的使用 1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。 2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。 3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。 4、显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。 5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，最后则使用