带你了解CM-4简易探针台 CM-4简易探针台是一款功能齐全、操作简便的测试设备，适用于多种测试需求，如I-V/C-V、PIV测试以及光电测试等。该设备特别适合对6英寸以内的样品进行测试。 其主要特点包括： 同轴丝杠传动结构，线性移动，使得探针台在X-Y方向上移动精度高，可达10微米。同时，台体规格可选择4英寸或6英寸，满足不同测试需求。 样品台Z轴调节可升降10mm，满足不同高度的样品测试需求。 样品固定方式采用真空吸附，确保样品稳固。 可放置于手套箱内使用，方便进行各种实验操作。 形状轻巧，操作方便，价格实惠。 探针夹具安装灵活，可以根据需要进行上下调节位置。同时，匹配探针台和防震桌设计，使测试过程更加稳定可靠。 配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。 可与显微镜配合使用，提高测试精度。 总的来说，CM-4简易探

探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？ 通常需要确定以下问题来确定探针台的选型： 1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件？ 2、探针台机械精度要求多高？ 3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的minipad，还是ic内部的metal？ 4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜最大倍率200倍） 5、最多需要几根探针同时去点测？ 6、会测试到的最大的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具） 7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状夹具：100FA，同轴弹簧夹具：10PA（漏电精度：最小能测到的电流的量级） 8、是否会用到探针卡？ 9、光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？ 10、显微

直流辉光放电中等离子体诊断实验操作指导手册