Lake Shore低温探针台系列
TTPX桌面式低温探针台

Lake Shore的TTPX探针台是一款经济的、入门级的探针台,能够进行各种非破坏性的标准电子器件测量。紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究环境。

TTPX探针台通过使用液氦或液氮的连续流制冷系统提供高效的低温操作和控制,系统在4.2 K至475 K的温度范围内运行,可扩展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范围。该系统可容纳直径达51 mm(2英寸)的完整和部分晶圆片。各种探针、测试电缆、样品支架和选件使其能够满足多种特定的测量应用。

TTPX探针台是Lake Shore为电材料表征而设计的高端产品,它具有背面光学接入选件和兼容的光学样品座。I-V、C-V和微波测量是TTPX的标准选件。TTPX的多功能性和经济性使其成为世界各地许多研究人员的首选工具。


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Lake Shore TTPX| 桌面式低温探针台



特点/应用

  • 温度范围4.3K~475K

  • 可选低温3.2K,可选高温675K


  • 标准2英寸(51mm)样品


  • 紧凑型桌面设计


  • 样品振动<30nm可选
  • 环形磁体选件最大0.19T
  • 允许样品背光接入

高低温真空探针台


◆主要参数及描述
温度范围
安装2个探针臂 基础温度4.3K,控制范围4.4K~475K
安装4个探针臂 基础温度4.325K,控制范围4.4K~475K
安装6个探针臂 基础温度4.35K,控制范围4.4K~475K
安装PS-HTSTAGE高温选件 基础温度20K,控制范围20K~675K
温度稳定性 液氦                              
基础温度(无加热控制) ±15mk           
<10K ±50mk          
10K~100K ±20mk           
351K~675K ±50mk           
真空 以TPS-FRG分子泵组为标准          
室温 <5X10-4Torr           
基础温度 <1X10﹣5Torr          
最高温度 <5X10﹣3Torr          
循环时间
总循环 2h
抽真空
15min
探针台冷却
45min
探针台升温 60min
样品
最大尺寸

51mm(2英寸)标准

样品背光接口 5mm(2in)直径
样品旋转
样品振动 <300nm标准,<30nm配有PS-PVIS减震选件
探针配置
最大探针数 6
探针臂温度计 用于监视探针臂的温度
冷却探针支架 <35K(样品在基础温度下)
探针支架 连接样品台热沉
探针臂支架 连接防辐射屏热沉
DC/RF探针                                   电绝缘>100GΩ用于地漏点测量
微波探针                                    频率范围从DC到67GHz
光纤探针                                    可用于光电测量
落针范围                                    所有探针均可在直径为25.4毫米(一英寸)的圆内落针



PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改,恕不另行通知。

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产品规格书:


Product Specifications:





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