CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求,是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层,以实现优异的低温性能,其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。
由于采用了分流设计,样品可在防辐射屏冷却时保持温度,与高真空选件,最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝,这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外,CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm(2英寸)的晶圆(最多102 mm[4英寸]可选)。该系统使用液氦或液氮运行。
Lake Shore CPX| 多功能低温探针台
◆特点/应用
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◆主要参数及描述 | |
温度范围 |
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安装6个探针臂 | 基础温度4.3K,控制范围4.4K~475K |
安装PS-LT低温选件 | 基础温度1.9K,控制范围2K~475K |
安装PS-VLT-CPX极低温选件 | 基础温度1.6K,控制范围1.65K~400K |
安装PS-LL-CPX选件(Load Lock) | 基础温度10K,控制范围10K~400K |
温度稳定性 | 液氦 液氮 |
基础温度(无加热控制) | ±15mk ±20mk |
<10K | ±50mk --- |
10K~100K | ±20mk ±50mk |
351K~675K | ±50mk ±100mk |
真空 | 以TPS-FRG分子泵组为标准 PS-HV-CPX高真空选件 |
室温 | <5X10-4Torr <5X10-6Torr |
基础温度 | <1X10﹣5Torr <5X10-7Torr |
最高温度 | <1X10﹣5Torr <5X10-7Torr |
循环时间 | |
总循环 | 3h |
抽真空 |
0.5h |
探针台冷却 |
1.25h |
探针台升温 | 2h |
样品 | |
最大尺寸 |
51mm(2英寸) 25.4mm(1英寸)安装PS-VLT-CPX高真空选件 25.4mm(1英寸)安装PS-LL-CPX Load Lock选件 |
样品背光接口 | 不可选 |
样品旋转 | ±5°面内旋转 |
样品振动 | <300nm标准,<30nm配有PS-PVIS减震选件 |
探针配置 | |
最大探针数 | 6 |
探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 |
冷却探针支架 | <20K(样品在基础温度下) |
探针支架 | 连接样品台热沉 |
探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 |
DC/RF探针 电绝缘>100GΩ用于地漏点测量 | |
微波探针 频率范围从DC到67GHz | |
光纤探针 可用于光电测量 | |
落针范围 所有探针均可在直径为25.4毫米(一英寸)的圆内落针 |
PS:探针台可根据客户要求定制。 | |
规格及设计如有更改,恕不另行通知。 | |
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