国产自动分析探针台厂家

全自动晶圆探针台

适应4~12寸晶圆测可提供高低温、高电压、低漏电等不同测试环境配置

设备简单易用、性能稳定，具备高度、高效率、低振动和低噪声

精度最⾼可达±1微⽶，采⽤全闭环运控系统，实现⾼精度、⾼效率和⾼鲁棒性定位运动

IndexTime最⼩可达240毫秒，⼤理⽯底座，⾼刚性结构，实现⾼负载、低振动和快速整定运动

最⼤顶升⼒750kgf，Z轴四⻆⼀体化⽀撑，实现⾼负载或偏载情况下的形变量最⼩

测试温度范围-40⾄200℃，⾃主研发各类CHUCK，解决核⼼⼯艺问题，实现精准温度控制

软件功能

Wafer Alignment功能 Needle Alignment功能

Wafer ID OCR功能 PMI针痕检测功能

最⼤兼容200万个Die GPIB通讯

调图重测，与国外主流机型双向兼容⽀持SECS/GEM通讯协议

⽀持导⼊⽂件快速⽣成Map Map及Die 属性离线编辑

Repeat Touch功能完全兼容国外主流机型Map⽂件格式

8英寸半自动探针台

◆规格参数：

	C300	H300	T300	M300
适用场合	通用机型	通用机型	适用于三温	适用于存储
适用晶圆尺寸	12寸/8寸
适用晶圆厚度*	200~2200μm	200~2200μm	200~2200μm	200~2200μm
综合精度	XY轴：±1μm ZF轴：±2μm	XY轴：±1μm ZF轴：±2μm	XY轴：±1μm ZF轴：±2μm	XY轴：±1μm ZF轴：±2μm
Index time	240ms (X/Y:10mm,Z:0.5mm)	240ms (X/Y:10mm,Z:0.5mm)	240ms (X/Y:10mm,Z:0.5mm)	240ms (X/Y:10mm,Z:0.5mm)
针测压力	250kgf	250kgf	250kgf	750kgf
测试温度*	常温	常温~150℃	-55~200℃	常温~150℃
测试机对接方式*	Cable,Hard Docking,Direct Docking	Cable,Hard Docking,Direct Docking	Cable,Hard Docking,Direct Docking	Hinge,Auto-leveling
通讯接口	GPIB,RS232	GPIB,RS232	GPIB,RS232	GPIB,RS232
设备尺寸	1680mm(W)1890mm(D)14 90mm(H)	1680mm(W)1890mm(D)14 90mm(H)	1680mm(W)2080mm(D)14 90mm(H)	2000mm(W)1890mm(D)14 90mm(H)
设备重量	2000kg	2000kg	2000kg	2200kg
电力要求	220VAC1.0KVA	220VAC 2.0KVA	220VAC5.7KVA	220VAC 2.0KVA
压缩空气气压	≥0.6MPa	≥0.6MPa	≥0.6MPa	≥0.6MPa
真空气压	≤-60kPa	≤-60kPa	≤-60kPa	≤-60kPa

※支持伯努利手指，满足薄片要求 ※支持温度定制-60℃ ※支持自动换卡 (APC) ※支持加装FFU, 满足高洁净度要求

	C200	H200	T200	T200HV
适用场合	通用机型	通用机型	适用于三温	适用于三代半
适用晶圆尺寸	8寸/6寸/5寸/4寸
适用晶圆厚度*	200~2200μm	200~2200μm	200~2200μm	200~2200μm
综合精度	XY轴：±2μm ZF轴：±2μm	XY轴：±2μm ZF轴：±2μm	XY轴：±2μm ZF轴：±2μm	XY轴：±2μm ZF轴：±2μm
Index time	250ms (X/Y:10mm,Z:0.5mm)	250ms (X/Y:10mm,Z:0.5mm)	250ms (X/Y:10mm,Z:0.5mm)	250ms (X/Y:10mm,Z:0.5mm)
针测压力	150kgf	150kgf	150kgf	150kgf
测试温度*	常温	常温~150℃	-55~150℃	-40~150℃
测试机对接方式	Cable,Hard Docking	Cable,Hard Docking	Cable,Hard Docking	Cable,Hard Docking
通讯接口	GPIB,RS232	GPIB,RS232	GPIB,RS232	GPIB,RS232
设备尺寸	1300mm(W)1542mm(D)96 0mm(H)	1300mm(W)1542mm(D)96 0mm(H)	1300mm(W)1740mm(D)96 0mm(H)	1300mm(W)1740mm(D)96 0mm(H)
设备重量	1200kg	1200kg	1200kg	1200kg
电力要求	220VAC1.0KVA	220VAC 2.0KVA	220VAC5.7KVA	220VAC5.7KVA
压缩空气气压	≥0.6Mpa	≥0.6Mpa	≥0.6Mpa	≥0.6Mpa
真空气压	≤-60kPa	≤-60kPa	≤-60kPa	≤-60kPa
※支持伯努利手指，满足薄片要求 ※支持温度定制-60℃ ※支持加装FFU, 满足高洁净度要求