森东宝科技带你了解高低温真空探针台详细参数
型号为CGO-2和CGO-4。这两款设备的主要技术参数包括腔体尺寸、样品台尺寸、观察窗口尺寸、真空度、探针臂接口、其他接口(电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口)、制冷方式、控制方式、温度范围、温控分辨率、稳定性等。
腔体和样品台:CGO-2和CGO-4分别具有2英寸和4英寸的样品台尺寸,并采用弹簧压片方式固定样品。
观察窗口:观察窗口尺寸分别为2英寸和4英寸,用于观察样品。
真空度:这两款设备的真空度均可达到10-6torr,确保测试环境的高纯净度。
探针臂接口:最多可连接6个探针臂接口,满足多种测试需求。
其他接口:设备提供了电信接口、真空接口、光纤接口和冷源接口,增强了设备的通用性和灵活性。
制冷方式与温度范围:采用液氮或液氦制冷,温度范围覆盖77K~450K(CGO-2)和4.5K~450K(CGO-4)。
控制方式:CGO-2采用开循环手动控制方式,而CGO-4则采用闭循环自动控制方式。
显微镜与探针座:这两款设备均配备显微镜和探针座,具有X-Y-Z移动行程和结构特点,以及移动精度。此外,显微镜还配备了LED环形光源和CCD摄像头。
探针夹具:提供多种线缆类型、漏电精度和固定方式,并配备多种接头类型。
探针特性:支持DC-67GHZ的频率范围,并具有不同直径的针尖(从0.2um到100um),以及钨钢和铍铜两种材质。
真空组件与冷源组件:设备包含分子泵组或机械泵作为真空组件,以及液氮罐、液氦罐或制冷机作为冷源组件。
外形与重量:设备的外形尺寸为730mm长750mm宽1265mm高,重量约为100千克。
综上所述,CGO-2和CGO-4是两款功能强大、高度可配置的半导体测试设备,适用于多种高精度测试应用,如电子元件的电阻、电容、电感、品质因数和频率响应等参数的测试。它们具有高度可定制性,可以根据不同的测试需求进行配置。
2016-05-13
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