Lake Shore低温探针台系列
EMPX-H2低温磁场探针台




ake Shore的EMPX-H2探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁,所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测,加上面内水平场电磁测量,都可以在EMPX-H2探针台上进行。研究人员可以使用EMPX-H2来测试磁输运参数,ST-FMR测试等。它是Lake Shore探针台中用于矢量相关磁输运测量的低温探针台。

为了最大限度地提高样品磁场,EMPX-H2的探针配置为30°倾角,用于探测直径达25mm(1英寸)的晶圆片。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。EMPX-H2在4.5 K至400 K的温度范围内运行,配置低温选件可将基本温度扩展至3.2 K。EMPX-H2采用连续流制冷,可使用液氦或液氮进行冷却。


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Lake Shore EMPX-H2| 低温磁场探针台



特点/应用

  • 温度范围4.5K~400K

  • 可选低温3.2K


  • 水平磁场±0.6T


  • 最大1英寸(25.4mm)样品


  • 无需系统降温即可施加磁场
  • 样品360°旋转各向异性测试

高低温真空探针台


◆主要参数及描述
磁场
磁体类型 电磁铁
磁场方向 水平方向(平行于样品面)
磁场控制 霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制
磁场大小 最大±6koe(±0.6T)
磁场均匀性 0.6%10mm直径;2.6%25mm直径
探针针尖移动 <5um整个磁场范围内
温度范围
最多安装4个探针臂 基础温度4.5K,控制温度范围5K~400K
安装PS-LT低温选件 基础温度3.2K,控制温度范围3.3K~400K
温度稳定性 液氦            液氮
基础温度 ±20mk          ±50mk
真空
以TPS-FRG分子泵为标准                   
抽真空时间 30min(<1x10﹣3Torr)     
室温 <5X10﹣4Torr             
基础温度 <1X10﹣5Torr             
最高温度 <5X10﹣3Torr            
循环时间
总循环 3h
抽真空 0.5h
探针台冷却 1.25h
探针台升温 1.25h
样品
最大尺寸 51mm(2英寸)
样品背光接口 不可选
样品旋转 360°样品旋转选件(PS-360-EMPX)
样品振动 <300nm标准
探针配置
最大探针数 4
探针臂温度计 用于监视探针臂的温度
冷却探针支架 <20K(样品在基础温度下)
探针支架 连接样品台热沉
探针臂支架                                  连接防辐射屏热沉
DC/RF探针                                   电绝缘>100GΩ用于地漏点测量
微波探针                                    频率范围从DC到67GHz
光纤探针                                    可用于电光测量
落针范围                                    所有探针均可在直径为25.4毫米(一英寸)的圆内落针

PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改,恕不另行通知。

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产品规格书:


Product Specifications:





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