Lake Shore低温探针台系列
CRX-VF无液氦超导磁体探针台

Lake Shore的CRX-EM-HF是一款无液氦闭循环制冷的探针台,它增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁,所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测,加上面内水平场电磁测量,都可以在CRX-EM-HF多功能探针台上进行。研究人员可以使用CRX-EM-HF来测试磁输运参数,ST-FMR等。它是Lake Shore众多探针台中可用于

Lake Shore的CRX-VF是一款无液氦闭循环制冷的探针台,它增加了±2.5T的超导磁体,可以进行C-V、I-V、微波和电光探测,以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CRX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CRX-VF可在直径达51毫米(2英寸)的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。

CRX-VF可在10 K至500 K的温度范围内工作,它使用独立的闭循环制冷机,开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。该系统为寻求兼顾无液氦操作的便利性和Lake Shore产品可靠的测量性能的用户提供了完整的解决方案。


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Lake Shore CRX-VF| 无液氦超导磁场探针台



特点/应用

  • 温度范围10K~500K

  • 垂直磁场±2.5T,可定制3T以上磁场


  • 最大2英寸(51mm)样品


  • 90°探针样品测量


  • 霍尔效应测试选件
  • 超高真空选件
  • 可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境

高低温真空探针台


◆主要参数及描述
磁场
磁体类型 超导螺线管
磁场方向 垂直方向(垂直于样品面)
磁场控制 电流控制
磁场大小 最大±25koe(±2.5T)
磁场均匀性 0.5%10mm直径;1%25mm直径
探针针尖移动 <5um整个磁场范围内
温度范围
±2.5T 温度10K
±2T 温度范围11K~400K
±2T 温度范围11K~400K
±1T 温度范围401K~500k
真空
以TPS-FRG分子泵为标准                    PS-HV-CPX高真空选件
抽真空时间 90min(<1x10﹣3Torr)      30min(<1x10-3Torr)
室温 <5X10﹣4Torr             <5X10-6Torr
基础温度 <1X10﹣5Torr             <5X10-7Torr
最高温度 <5X10﹣4Torr             <5X10-7Torr
循环时间
总循环 8.5h
抽真空
1.5h
探针台冷却 5h
探针台升温 2h
样品
最大尺寸 51mm(2英寸)
样品背光接口 不可选
样品旋转 不可选
样品振动 <1um
探针配置
最大探针数 6
探针臂温度计 用于监视探针臂的温度
冷却探针支架 <20K(样品在基础温度下)
探针支架 连接样品台热沉
探针臂支架                                  连接防辐射屏热沉
DC/RF探针                                   电绝缘>100GΩ用于地漏点测量
微波探针                                    频率范围从DC到67GHz
光纤探针                                    可用于电光测量
落针范围                                    所有探针均可在直径为25.4毫米(一英寸)的圆内落针



PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改,恕不另行通知。

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