探针台
压电马达,纳米级位移台

压电马达驱动的位移台特点:

1、长行程,理论上无行程限制
2、超高精度,可迖10纳米
3、无回程间隙,具内秉刹车功能
4、无磁,无油,无电磁干扰,真空兼容
5、快速,速度迖300毫米/秒
6、超薄设计,结构紧凑

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压电马达简介:

不同于传统的电磁马迖,压电马迖是利用逆压电效应的原理,通过压电陶瓷在电场作用下(一般在共振状态下)的形变,由摩擦耦合推动动子的运动
由压电马达驱动的位移台一般把马达安装在基座,而动子则是位移台台面的一部分,没有传统电磁马迖(伺服或步进电机)驱动的位移台所需的丝杆或蜗轮蜗杆组部件,是一个直接驱动,没有回程间隙的驱动方式。由于压电陶瓷的形变量极小,可迖到非常高的平台位移精度,可以说压电马迖驱动的位移台是名副其的纳米位移台





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