CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低温真空探针台测试系统
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◆特点/应用
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◆极低温测试
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
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| ◆ 腔体规格 | |
| 型号 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
| 样品台尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 样品固定 | 弹簧压片 |
| 观察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 真空度 | 10-6torr |
| 探针臂接口 | 4~6个探针臂接口 |
| 其他接口 | 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 |
| 制冷方式 | 液氮/液氦/制冷机 |
| 温度范围 | 77K到573K/4.5K到573K |
| 温控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
| 稳定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
| 外形 | 880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高 |
| 重量 | 约100千克/120千克 |
| ◆光学系统 | |
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移动行程 | 水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
| ◆探针臂 | |
| X-Y-Z移动行程 | 50mm*50mm*50mm |
| 结构 | 外置探针臂，真空波纹管结构 |
| 移动精度 | 10微米/1微米 |
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
| 频率支持 | DC-67GHZ |
| 针尖直径 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| ◆其他组件 | |
| 真空组件 | 分子泵组/机械泵/离子泵 |
| 冷源组件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机 |
| ◆可选附件 | |
| 超高温配件 | |
| 显示器 | |
| 转接头 | |
| 射频测试配件 | |
| 屏蔽箱 | |
| 光学平台 | |
| 镀金卡盘 | |
| 光电测试配件 | |
| 高压测试配件 | |
| 分子泵组 | |
| 激光系统 | |
| 气敏测试配件 | |
PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改，恕不另行通知。
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