Lake Shore低温探针台系列
CPX多功能低温探针台


CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求,是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层,以实现优异的低温性能,其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。

由于采用了分流设计,样品可在防辐射屏冷却时保持温度,与高真空选件,最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝,这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外,CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm(2英寸)的晶圆(最多102 mm[4英寸]可选)。该系统使用液氦或液氮运行。


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Lake Shore CPX| 多功能低温探针台



特点/应用

  • 温度范围4.3K~475K

  • 可选低温1.9K/1.6K


  • 标准2英寸(51mm)样品,4英寸(102mm)可定制


  • 样品可面内±5°旋转


  • 样品振动<30nm可选
  • 超高真空选件
  • 可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境
  • 环形磁体选件最大0.19T

高低温真空探针台


◆主要参数及描述
温度范围
安装6个探针臂 基础温度4.3K,控制范围4.4K~475K
安装PS-LT低温选件 基础温度1.9K,控制范围2K~475K
安装PS-VLT-CPX极低温选件 基础温度1.6K,控制范围1.65K~400K
安装PS-LL-CPX选件(Load Lock) 基础温度10K,控制范围10K~400K
温度稳定性 液氦                              液氮
基础温度(无加热控制) ±15mk           ±20mk
<10K ±50mk           ---
10K~100K ±20mk           ±50mk
351K~675K ±50mk           ±100mk
真空 以TPS-FRG分子泵组为标准           PS-HV-CPX高真空选件
室温 <5X10-4Torr           <5X10-6Torr
基础温度 <1X10﹣5Torr          <5X10-7Torr
最高温度 <1X10﹣5Torr          <5X10-7Torr
循环时间
总循环 3h
抽真空
0.5h
探针台冷却
1.25h
探针台升温 2h
样品
最大尺寸

51mm(2英寸)

25.4mm(1英寸)安装PS-VLT-CPX高真空选件

25.4mm(1英寸)安装PS-LL-CPX Load Lock选件

样品背光接口 不可选
样品旋转 ±5°面内旋转
样品振动 <300nm标准,<30nm配有PS-PVIS减震选件
探针配置
最大探针数 6
探针臂温度计 用于监视探针臂的温度
冷却探针支架 <20K(样品在基础温度下)
探针支架 连接样品台热沉
探针臂支架 连接防辐射屏热沉
DC/RF探针                                   电绝缘>100GΩ用于地漏点测量
微波探针                                    频率范围从DC到67GHz
光纤探针                                    可用于光电测量
落针范围                                    所有探针均可在直径为25.4毫米(一英寸)的圆内落针



PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改,恕不另行通知。

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