探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？ 通常需要确定以下问题来确定探针台的选型： 1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件？ 2、探针台机械精度要求多高？ 3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的minipad，还是ic内部的metal？ 4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜最大倍率200倍） 5、最多需要几根探针同时去点测？ 6、会测试到的最大的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具） 7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状夹具：100FA，同轴弹簧夹具：10PA（漏电精度：最小能测到的电流的量级） 8、是否会用到探针卡？ 9、光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？ 10、显微

直流辉光放电中等离子体诊断实验操作指导手册

近代物理实验“气体放电中等离子体的研究”出实验设备啦，一次由理论到实践的转变就从SSV-40开始 背景：实验“气体放电中等离子体的研究”为大学近代物理实验中的必修实验之一，但是一直以来都没有公司或者是个人生产出完整的相对应的实验设备，因此该实验一直处于纸上谈兵的状态，今天由东北大学真空与流体工程研究所教授团队针对此实验经过多年的研究，终于开发出SSV-40型气体放电与等离子诊断仪，并且面向全国各高校发售，从此实验“气体放电中等离子体的研究”从理论走向实践，从书本走向现实。 产品信息： 整套设备包括朗缪尔探针、气体放电管、测量系统、真空系统、进气系统等部分组成。 朗缪尔探针、工作电压、工作气压、气体流量等部分均可独立控制并且自由调节。 利用该装置可实现的主要实验内容有： 1

探针台系统剖析 探针台系统分为手动探针台与自动探针台，以下我们主要分析手动探针台： 探针台用途： 手动探针台又称探针测试台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。 探针台系统组成： 探针台台体+显微镜+探针座+探针夹具+探针+测试源表（请注意无测试源表就构成不了系统，探针台只是提供一个测试平台，一切数据的测量都需要依靠测试源表来完成） 探针台测试环境： 可提供的测试环境有：常温、高温、高低温测试、真空高低温、高压、辐射以及磁场环境。