清华大学手套箱探针台案例

深圳大学CS-4高温探针台案例

华侨大学CS-4高温射频探针台案例

GGB射频探针选型 适用40A,40M,50A,67A,110H 以下以40A为例： 40A-GSG-150-P-W 40A指的是探针最高测试的频率能力，40A代表此探针最高可测试到40GHz（40M为超低损耗探针） GSG指的是探针对应的电极数量，可选GSG,GS,SG几种形状。还有多个探针组合的可看dual选型方法 150指的是探针脚间距，G和S间的距离；间距可从25um到2540um可选 P指的是探针头的接头形状，共有12种结构 W指的的是探针针尖的材料，W是钨钢，标准的为铍铜

探针台的使用 1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。 2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。 3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。 4、显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。 5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，最后则使用