气体放电与等离子体诊断仪

SSV-40型气体放电与等离子体诊断仪由东北大学真空与流体工程研究所教授团队研究开发，面向全国各高校。 整套设备包括朗缪尔探针、气体放电管、测量系统、真空系统、进气系统等部分组成。 朗缪尔探针、工作电压、工作气压、气体流量等部分均可独立控制并且自由调节。