CINDBEST CRX| 闭循环低温探针台测试系统
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特点/应用
◆ 2英寸样品台
◆样品台电学独立悬空，引出三同轴接口
◆ 温度范围：4.5K-350K
◆ 6个探针臂接口
◆ 样品台振动精度≤1um
◆ 射频臂可支持频率范围DC~110GHz
◆ 循环电制冷，无需制冷剂
◆ 允许非监督降温 ◆ 高效的降温时间
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◆ 腔体规格：
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型号 |
CRX-10K/CRX-4.5K |
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样品台尺寸 |
2英寸 |
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样品固定 |
弹簧压片 |
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观察窗口 |
50mm |
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真空度 |
3*10-5(Torr) |
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探针臂接口 |
最多6个探针臂接口 |
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其他接口 |
电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 |
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制冷方式 |
制冷机 |
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温度范围 |
10K到350K/4.5K到350K |
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温控精度 |
0.1K/0.01K/0.001K |
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稳定性 |
<10K@±50mK,10K到100K@±10mK 100K到300K@±10mK |
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外形 |
872mmW*962mmD*1400mmH |
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重量 |
约130千克 |
◆ 光学系统：
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显微镜类型 |
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移动行程 |
水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
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光源 |
同轴光源 |
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CCD |
200万像素/1200万像素 |
◆ 探针臂：
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X-Y-Z移动行程 |
25mm*70mm*15mm |
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结构 |
外置探针臂，真空波纹管结构 |
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移动精度 |
2微米 |
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线缆 |
同轴线/三轴线/射频线 |
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漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探针 |
螺丝固定 |
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接头类型 |
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
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频率支持 |
DC-67GHZ |
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针尖直径 |
10um/20um/50um |
◆ 其他组件：
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真空组件 |
分子泵组 |
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冷源组件 |
制冷机 |
◆ 可选附件
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超高温配件 |
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显示器 |
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转接头 |
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射频测试配件 |
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屏蔽箱 |
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光学平台 |
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镀金卡盘 |
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光电测试配件 |
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高压测试配件 |
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分子泵组 |
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激光系统 |
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气敏测试配件 |
规格及设计如有更改，恕不另行通知。
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