Lake Shore低温超导磁体晶圆测试探针台

CPX-VF低温超导磁体探针台

Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。

CPX-VF在直径达51mm（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。

CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷（使用超导磁体时必须使用液氦），其操作温度范围为4.2 K到400 K，使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。

< 上一个 ≡ 返回列表下一个 >

规格参数
资料下载

Lake Shore CPV-VF| 低温超导磁场探针台

◆特点/应用

温度范围4.3K~400K

可选低温1.9K

垂直磁场±2.5T

最大2英寸（51mm）样品

样品可面内±5°旋转
样品振动＜30nm可选
90°探针样品测量
霍尔效应测试选件
超高真空选件
可定制真空腔体联用转移样品，避免样品暴露在大气环境

高低温真空探针台

◆主要参数及描述

磁场

磁体类型超导螺线管

磁场方向垂直方向（垂直于样品面）

磁场控制电流控制

磁场大小最大±25koe(±2.5T)

磁场均匀性 0.65%10mm直径;1%25mm直径

探针针尖移动＜5um整个磁场范围内

温度范围

最多安装6个探针臂基础温度4.3K,控制温度范围4.4K~400K

安装PS-LT低温选件基础温度1.9K,控制温度范围2K~400K

温度稳定性液氦

基础温度 ±15mk

真空
以TPS-FRG分子泵为标准 PS-HV-CPX选件

抽真空时间 30min(＜1x10﹣3Torr) 10min(＜1X10-3Torr)

室温＜5X10﹣4Torr ＜5X10-6Torr

基础温度＜1X10﹣5Torr ＜5X10-7Torr

最高温度＜5X10﹣5Torr ＜5X10-7Torr

循环时间

总循环 4h

抽真空 0.5h

探针台冷却 2h

探针台升温 1.5h

样品

最大尺寸 51mm(2英寸)

样品背光接口不可选

样品旋转 ±5°样品面内旋转

样品振动＜300nm标准

探针配置

最大探针数 6

探针臂温度计用于监视探针臂的温度

冷却探针支架＜20K（样品在基础温度下）

探针支架连接样品台热沉

探针臂支架连接防辐射屏热沉

DC/RF探针电绝缘＞100GΩ用于地漏点测量

微波探针频率范围从DC到67GHz

光纤探针可用于电光测量

落针范围所有探针均可在直径为25.4毫米（一英寸）的圆内落针

PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改，恕不另行通知。


版权所有：深圳市森东宝科技有限公司	深圳市森东宝科技有限公司
	地址:深圳市龙华区大浪街道新石社区嘉义源数码科技园2号1层A区
	电话: 0755-29412885
	邮箱: sales@cindbest.com

产品规格书：

Product Specifications: