Lake Shore低温探针台系列
CRX-6.5K无液氦低温探针台

CRX-6.5K兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品的可靠性,为用户提供了一种低成本、通用的解决方案。它使用独立的闭循环制冷机,开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。它的多功能性和经济性使CRX-6.5K成为世界各地许多研究人员的首选工具。 

I-V、C-V和微波测量在CRX-6.5K上是标准的。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。

CRX-6.5K可在8 K至350 K的温度范围内工作,并可选择扩展20 K至675 K的高温范围。该系统可容纳直径高达51 mm(2 in)的完整晶圆片和部分晶圆片。探针、测试电缆、样品座和选件的广泛选择使其能够满足多种特定的测量应用。



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Lake Shore CRX-6.5K| 无液氮低温探针台



特点/应用

  • 温度范围8K~350K

  • 可选高温至675K


  • 无液氦低温操作


  • 降温中尽可能减少样品冷凝


  • 标准2英寸样品,4英寸可选

高低温真空探针台


◆主要参数及描述
温度范围
安装2个探针臂 基础温度8K,控制范围8.5K~350K
安装4个探针臂 基础温度9K,控制范围9.5K~350K
安装6个探针臂 基础温度10K,控制范围10.5K~350K
按照PS-HTSTAGE选件(与样品背面偏压不兼容) 基础温度20K,控制范围20K~675K
温度稳定性
基础温度(无加热控制) 未说明
<10K ±25mk
11K~350K ±10mk
351K~675K ±50mk
真空
室温 <5X10-4Torr
基础温度 <1X10﹣5Torr
最高温度 <1X10﹣5Torr
循环时间
总循环 4h
抽真空 0.5h
探针台冷却
2h
探针台升温 1.5h
样品
最大尺寸 51mm(2英寸)
样品背光接口 不可选
样品旋转 不可选
样品振动 <1um
探针配置
最大探针数 6
探针臂温度计 用于监视探针臂的温度
冷却探针支架 <20K(样品在基础温度下)
探针支架 连接样品台热沉
探针臂支架 连接防辐射屏热沉
DC/RF探针                                   电绝缘>100GΩ用于地漏点测量
微波探针                                    频率范围从DC到67GHz
光纤探针                                    可用于光电测量
落针范围                                    所有探针均可在直径为25.4毫米(一英寸)的圆内落针



PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改,恕不另行通知。

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