CRX-6.5K兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品的可靠性,为用户提供了一种低成本、通用的解决方案。它使用独立的闭循环制冷机,开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。它的多功能性和经济性使CRX-6.5K成为世界各地许多研究人员的首选工具。
I-V、C-V和微波测量在CRX-6.5K上是标准的。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。
CRX-6.5K可在8 K至350 K的温度范围内工作,并可选择扩展20 K至675 K的高温范围。该系统可容纳直径高达51 mm(2 in)的完整晶圆片和部分晶圆片。探针、测试电缆、样品座和选件的广泛选择使其能够满足多种特定的测量应用。
Lake Shore CRX-6.5K| 无液氮低温探针台
◆特点/应用
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◆主要参数及描述 | |
温度范围 |
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安装2个探针臂 | 基础温度8K,控制范围8.5K~350K |
安装4个探针臂 | 基础温度9K,控制范围9.5K~350K |
安装6个探针臂 | 基础温度10K,控制范围10.5K~350K |
按照PS-HTSTAGE选件(与样品背面偏压不兼容) | 基础温度20K,控制范围20K~675K |
温度稳定性 |
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基础温度(无加热控制) | 未说明 |
<10K | ±25mk |
11K~350K | ±10mk |
351K~675K | ±50mk |
真空 | |
室温 | <5X10-4Torr |
基础温度 | <1X10﹣5Torr |
最高温度 | <1X10﹣5Torr |
循环时间 | |
总循环 | 4h |
抽真空 | 0.5h |
探针台冷却 |
2h |
探针台升温 | 1.5h |
样品 | |
最大尺寸 | 51mm(2英寸) |
样品背光接口 | 不可选 |
样品旋转 | 不可选 |
样品振动 | <1um |
探针配置 | |
最大探针数 | 6 |
探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 |
冷却探针支架 | <20K(样品在基础温度下) |
探针支架 | 连接样品台热沉 |
探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 |
DC/RF探针 电绝缘>100GΩ用于地漏点测量 | |
微波探针 频率范围从DC到67GHz | |
光纤探针 可用于光电测量 | |
落针范围 所有探针均可在直径为25.4毫米(一英寸)的圆内落针 |
PS:探针台可根据客户要求定制。 | |
规格及设计如有更改,恕不另行通知。 | |
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