二维材料转移平台
二维材料转移平台

低维材料异质结器件转移系统,

实现石墨烯、二硫化钼、黑磷等材料的微米级精确定点转移及多层范德华异质结可控堆叠

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CBC-ER4系列

FEATURES/BENEFITS

用途

低维材料异质结器件转移系统

实现石墨烯、二硫化钼、黑磷等材料的微米级精确定点转移

及多层范德华异质结可控堆叠


系统包含

显微镜模块、载玻片位移模块、真空吸附模块、加热样品台模块、隔震模块


可升级、选配

电学测量模块(兼容IV,CV等电学测量功能)

光学测量模块(兼容光模块,光电响应,光纤耦合功能)



主要部件

分别是加热样品台、显微镜、载玻片位移模组载玻片吸附模组、桌面式气浮防震桌、温控器

加热样品台模块

样品台尺寸:2英寸

样品台温度范围:常温-200℃(可升级300400

样品台XY快调移动行程:50*76mm ,大手柄同轴驱动便捷、高效,带阻尼锁定

样品台XY精调移动行程:±6.5mm

样品台R移动行程:360°旋转

样品台Z轴移动行程:8mm

控温分辨率:±0.1℃

样品台冷却方式:风冷


显微镜模块

移动平台:高稳定性显微镜移动模组,X-Y行程2英寸*2英寸

移动平台:可兼容金相显微镜,体式显微镜,单筒显微镜使用

单筒显微镜:连续变倍比:0.75-5X CMount : 1X 工作距离:82mm ,同轴LED光源,可调亮度,可加装长工作距离金相物镜 ,最低分辨率可达2um


载玻片位移模块

X-Y-Z-R四轴移动;

X-Y-Z移动行程25mm,移动精度10um,高稳定性、线性移动,显微镜下无抖动;

R轴旋转角度360度,手动旋转送样,旋转载玻.


真空吸附模块

载玻片固定方式:真空吸附

样品的固定方式:真空吸附

静音无油


隔震模块

阻尼光学平台底板


选配功能

探针座模块、金相显微镜、升级电动模块


应用案例

南方科技大学






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