|
技术参数 型号 |
CH-8-D 双面探针台 |
|
|
台体 |
chuck尺寸 |
8英寸 |
|
水平旋转 |
卡盘可以360度旋转，细调精度不大于0.1度，带有锁定旋钮 |
|
|
XY移动行程 |
8英寸*8英寸 |
|
|
XY移动精度 |
10um/1um可选 |
|
|
样品固定 |
样品夹定，尺寸可调；真空吸附固定，卡盘多圈吸附环可独立控制 |
|
|
双面点针平台 |
气动升降平台升起为双平台，落下可做单平台使用 |
|
|
平台针座数量 |
单平台最多放置8个CB-200针座 |
|
|
卡盘结构 |
普通/高温/带背电极等结构卡可选择 |
|
|
温控系统 |
温度范围 |
室温~300℃ (400℃,500℃可选） |
|
温控精度 |
0.1℃ |
|
|
温控稳定性 |
±1℃ |
|
|
温控传感器 |
100 Ω 铂电阻传感器 |
|
|
正面光学系统
|
CCD |
200W/500W/1200W像素可选（正反面） |
|
显微镜类型 |
单筒/体视/金相显微镜可选 |
|
|
放大倍率 |
16X-100X/20X-2000X |
|
|
显微镜调节 |
水平方向绕立柱旋转X-Y移动2*2英寸，Z轴行程50.8mm |
|
|
光源 |
外置LED环形光源/同轴光源 |
|
|
背面光学系统 |
显微镜类型 |
L型单筒显微镜 |
|
连续变倍比 |
6.3:1 |
|
|
放大倍率范围 |
0.75 – 5X |
|
|
放大倍率 |
315X（计算公式：变焦*CCD*显示器） |
|
|
显微镜调节 |
万向移动 |
|
|
光源 |
同轴光源 |
|
|
技术参数 型号 |
台体配件技术参数 |
|
|
探针座 |
X-Y-Z移动行程 |
12*12*12mm |
|
移动精度 |
10/2/0.7/0.5/0.35um可选 |
|
|
固定方式 |
磁力吸附/真空吸附可选 |
|
|
探针夹具 |
线缆 |
同轴线/三轴线可选 |
|
漏电精度 |
10pA/100fA |
|
|
探针固定方式 |
弹簧固定/管状固定 |
|
|
接头类型 |
BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子等可选 |
|
|
探针
|
材质 |
钨钢/铍铜可选 |
|
针尖直径 |
0.2/1/2/5/10/20/50/100um可选 |
|
|
探针可选配件 |
屏蔽箱 |
|
|
高压测试配件 |
||
|
光学防震桌 |
||
|
射频测试配件 |
||
|
镀金卡盘 |
||
|
转接头 |
||
|
探针卡夹具 |
||
|
其他 |
||
